合肥先微半導(dǎo)體材料有限公司高純電子氣體新材料項目 環(huán)境影響報告書和公眾參與說明報批前公示

1、環(huán)境影響報告書信息公示說明

合肥先微半導(dǎo)體材料有限公司高純電子氣體新材料項目位于合肥新站高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)珠城西路與通寶路交口西北角。擬建設(shè)電子氣提純生產(chǎn)線、準分子激光氣體混配生產(chǎn)線、電子氣分裝生產(chǎn)線、半導(dǎo)體級高純氣體純化器生產(chǎn)線和超潔凈鋼瓶處理線；項目實施后高純?nèi)穑˙F3）提純年產(chǎn)300噸；超純四氯化硅（SiCl4）提純年產(chǎn)300噸；年產(chǎn)準分子激光氣28000瓶，（其中193波長激光氣0.95%F2+3.5%Ar+Ne\13.5%Ar+10ppmXe+Ne，各3000瓶；248波長激光氣0.95%F2+1.25%Kr+Ne\1.25%Kr+Ne，各5000瓶；308波長激光氣4.5%HCl+1%H2+Ne\0.5%HCl+Ne\100ppm-10%H2+Ne，各4000瓶）；高純氧氣（O2）分裝年產(chǎn)1000噸；高純氫氣（H2）分裝年產(chǎn)40000瓶；高純八氟丙烷（C3F8）分裝年產(chǎn)300噸；高純一氧化二氮（N2O）分裝年產(chǎn)3000噸；超純二氧化碳（CO2）分裝年產(chǎn)10000噸；高純氮（N2）分裝年產(chǎn)3000噸；高純氬（Ar）分裝年產(chǎn)3000噸；高純氦（He）分裝年產(chǎn)20000瓶；液氦分裝年產(chǎn)50噸；半導(dǎo)體級高純氣體純化器年產(chǎn)1000套；超潔凈鋼瓶年處理量20000只。另進行甲烷（CH4）、硅烷（SiH4）、氯氣（Cl2）高純電子氣體產(chǎn)品儲存經(jīng)營，年經(jīng)營量分別為50t/a、10t/a、50t/a。

根據(jù)《環(huán)境影響評價公眾參與辦法》，現(xiàn)將項目環(huán)評報告及公眾參與說明（見附件）進行報批前公示。

2、建設(shè)單位及聯(lián)系方式

建設(shè)單位：合肥先微半導(dǎo)體材料有限公司

聯(lián)系電話：13665699325

聯(lián)系人：劉總

聯(lián)系地址：合肥新站高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)珠城西路與通寶路交口西北角

3、環(huán)評單位及聯(lián)系方式

評價機構(gòu)：合肥市斯康環(huán)境科技咨詢有限公司

聯(lián)系方式：0551-65614551

聯(lián)系人：高工

聯(lián)系地址：合肥市廬陽區(qū)蒙城北路108號

鏈接：https://pan.baidu.com/s/1RSTbTrQ8HDlcRqAiQn5KkQ

提取碼：4qji