合肥先微半導體材料有限公司高純電子氣體新材料項目 環(huán)境影響報告書(shū)和公眾參與說(shuō)明報批前公示

1、環(huán)境影響報告書(shū)信息公示說(shuō)明

合肥先微半導體材料有限公司高純電子氣體新材料項目位于合肥新站高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)區珠城西路與通寶路交口西北角。擬建設電子氣提純生產(chǎn)線(xiàn)、準分子激光氣體混配生產(chǎn)線(xiàn)、電子氣分裝生產(chǎn)線(xiàn)、半導體級高純氣體純化器生產(chǎn)線(xiàn)和超潔凈鋼瓶處理線(xiàn)；項目實(shí)施后高純三氟化硼（BF3）提純年產(chǎn)300噸；超純四氯化硅（SiCl4）提純年產(chǎn)300噸；年產(chǎn)準分子激光氣28000瓶，（其中193波長(cháng)激光氣0.95%F2+3.5%Ar+Ne\13.5%Ar+10ppmXe+Ne，各3000瓶；248波長(cháng)激光氣0.95%F2+1.25%Kr+Ne\1.25%Kr+Ne，各5000瓶；308波長(cháng)激光氣4.5%HCl+1%H2+Ne\0.5%HCl+Ne\100ppm-10%H2+Ne，各4000瓶）；高純氧氣（O2）分裝年產(chǎn)1000噸；高純氫氣（H2）分裝年產(chǎn)40000瓶；高純八氟丙烷（C3F8）分裝年產(chǎn)300噸；高純一氧化二氮（N2O）分裝年產(chǎn)3000噸；超純二氧化碳（CO2）分裝年產(chǎn)10000噸；高純氮（N2）分裝年產(chǎn)3000噸；高純氬（Ar）分裝年產(chǎn)3000噸；高純氦（He）分裝年產(chǎn)20000瓶；液氦分裝年產(chǎn)50噸；半導體級高純氣體純化器年產(chǎn)1000套；超潔凈鋼瓶年處理量20000只。另進(jìn)行甲烷（CH4）、硅烷（SiH4）、氯氣（Cl2）高純電子氣體產(chǎn)品儲存經(jīng)營(yíng)，年經(jīng)營(yíng)量分別為50t/a、10t/a、50t/a。

根據《環(huán)境影響評價(jià)公眾參與辦法》，現將項目環(huán)評報告及公眾參與說(shuō)明（見(jiàn)附件）進(jìn)行報批前公示。

2、建設單位及聯(lián)系方式

建設單位：合肥先微半導體材料有限公司

聯(lián)系電話(huà)：13665699325

聯(lián)系人：劉總

聯(lián)系地址：合肥新站高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)區珠城西路與通寶路交口西北角

3、環(huán)評單位及聯(lián)系方式

評價(jià)機構：合肥市斯康環(huán)境科技咨詢(xún)有限公司

聯(lián)系方式：0551-65614551

聯(lián)系人：高工

聯(lián)系地址：合肥市廬陽(yáng)區蒙城北路108號

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